Bombas semiconductoras de IWAKI.
Configuraciones individuales según las necesidades del cliente.
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Bombas de fuelle de accionamiento neumático FA
Diseño sin contaminación.
Todas las partes húmedas están fabricadas en fluoroplástico, con una excelente resistencia al calor y a los productos químicos agresivos. Los fluidos corrosivos afilados se transportan de forma segura con una reducida emisión de partículas..
Sistema de sensores de conducción
El sistema de sensores de accionamiento abre/cierra el solenoide mediante un sensor de posición final. Se da un funcionamiento fiable así como un comportamiento estable incluso con un bajo número de golpes.
Para el procesamiento de una oblea, la FA-2E, una "versión lateral" para caudales pequeños, está disponible equipada con un sistema de pulverización. Con la FA-40VEW, una versión vertical para grandes velocidades de alimentación, se pueden limpiar obleas de 200/300 mm.
El fuelle grueso en forma de H (FA-40VEW) proporciona una excelente resistencia a las altas presiones, garantizando una larga vida útil con un funcionamiento continuo.
Si se conecta un controlador específico, la supervisión y el control del caudal son muy sencillos.
Especificaciones (50 Hz)
| Max. Tasa de entrega: | 2.400 l/h. |
| Max. Presión de entrega: | 4 bar. |
| Max. Frecuencia de los golpes: | 150 spm. |
| Materiales principales: | PTFE / PFA. |
| Rango de temperatura:. | 5 a 100°C |
Bombeo químico de alta precisión CFD
Bombas de reposición química de alta precisión CFD
Estas bombas CFD se utilizan en el proceso de limpieza en húmedo en la fabricación de semiconductores. También se pueden bombear productos químicos con alta presión de vapor, como el amoníaco y el peróxido de hidrógeno.
El uso de fluoroplásticos permite obtener una gran pureza y una muy buena resistencia química. El ajuste de la longitud de la carrera, así como el número de carreras, permite el ajuste exacto de la tasa de entrega. La formación de partículas se evita gracias a las conexiones de las mangueras de PFA.
Especificaciones (50 Hz)
| Max. Tasa de entrega: | 8 ml/carrera |
| Max. Presión de entrega: | 0,5 bar |
| Max. Frecuencia de los golpes: | 30 spm |
| Materiales principales: | PTFE / PFA. |
| Rango de temperatura:. | 20 a 60°C |
Bombas de fuelle de accionamiento neumático FW/-H.
Diseño sin contaminación.
Todas las piezas húmedas están fabricadas en fluoroplástico, con una excelente resistencia al calor y a los productos químicos agresivos. Los fluidos corrosivos agudos se bombean de forma segura con una emisión reducida de partículas.Sistema de sensores de conducción
.
El sistema de sensores de accionamiento abre/cierra el solenoide mediante un sensor de posición final. Se da un funcionamiento fiable así como un comportamiento estable incluso con un bajo número de golpes.
La adopción de fuelles gruesos permite presiones de hasta 4,5 bares. Además, el fuelle dura 3 o 4 veces más que un diafragma. Las bombas de la serie FW se utilizan en procesos de limpieza, CPM y recirculación de productos químicos.
Las conexiones para los lados de aspiración y presión son de PFA. El diseño integrado evita la acumulación de partículas. Si se conecta un controlador especial, la supervisión y el control del caudal son muy fáciles.
Especificaciones (50 Hz)
| Max. Tasa de entrega: | 4.800 l/h |
| Max. Presión de entrega: | 4,5 bar |
| Max. Frecuencia de los golpes. | 120 spm |
| Materiales principales: | PTFE / PFA |
| Gama de temperaturas: | 10 a 180°C |
Bombas de fuelle de accionamiento neumático FS.
Trazos de alta velocidad.
El número de golpes varía según el tipo. Como resultado de la reducción del tamaño, el peso y el coste, el número de golpes pudo aumentarse a 240 spm, además de reducir las pulsaciones.Diseño sin contaminación.
Todas las partes húmedas están hechas de fluoroplástico. La bomba ha sido diseñada para que no haya partes metálicas expuestas. El exterior también está recubierto de fluoroplástico. El uso de una junta de pistón (pendiente de patente) tiene el efecto de reducir considerablemente las emisiones de partículas.
Gran rango de temperatura/transporte de alta presión
Se pueden bombear medios con un rango de temperatura de 5 a 180°C a una presión de hasta 5 bares. La bomba puede utilizarse para procesos de limpieza, CMP o circulación química.
Fácil mantenimiento.
El sensor de posición final puede sustituirse sin necesidad de desmontar la bomba y tampoco es necesario volver a apretar regularmente los tornillos de sujeción, lo que reduce el tiempo de inactividad.
Sistema de sensores de conducción.
El sistema de sensores de accionamiento abre/cierra el solenoide mediante un sensor de posición final. Por lo tanto, la salida puede ser fácilmente controlada o regulada si se conectan diferentes controladores.
Especificaciones (50 Hz)
| Max. Tasa de entrega: | 6.000 l/h |
| Max. Presión de entrega: | 5 bar |
| Max. Frecuencia de los golpes: | 240 spm |
| Materiales principales: | PTFE / PFA |
| Gama de temperaturas: | 5 a 180°C |
Bombas hechas para usted, a la medida de sus necesidades..
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