Halbleiter-Pumpen von IWAKI
Individuelle Konfigurationen nach Kundenwunsch
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Pneumatisch betriebene Balgpumpen FA
Kontaminationsfreie Konstruktion
Alle medienberührten Teile sind aus Fluorokunststoff gefertigt, mit hervorragender Beständigkeit gegen Hitze und aggressive Chemikalien. Scharfe korrosive Flüssigkeiten werden sicher gefördert bei verringerter Partikelemission.
Antriebs-Sensor-System
Das Antriebs-Sensor-System öffnet/schließt das Magnet mittels Endlagensensor. Zuverlässiger Betrieb sowie stabiles Verhalten selbst bei geringer Hubanzahl sind gegeben.
Für das Single-Wafer-Processing steht Ihnen die FA-2E, einer ""Seitenversion"" für kleine Fördermengen, mit einem Sprühsystem ausgestattet zur Verfügung. Mit der FA-40VEW, einer vertikalen Ausführung für große Fördermengen, können 200/300 mm Wafer gereinigt werden.
Exzellente Beständigkeit gegen hohe Drücke bieten die dicke Balgen in H-Form (FA-40VEW) und garantieren eine lange Lebensdauer bei kontinuierlichem Betrieb.
Falls ein spezieller Controller angeschlossen wird, ist die Überwachung und Kontrolle der Fördermenge sehr einfach.
Spezifikationen (50 Hz)
| Max. Förderleistung: | 2.400 l/h |
| Max. Förderdruck: | 4 bar |
| Max. Hubfrequenz: | 150 spm |
| Hauptmaterialien: | PTFE / PFA |
| Temperaturbereich: | 5 bis 100°C |
Chemisches Hochpräzisions-Replenishment-Pumpen CFD
Chemisches Hochpräzisions-Replenishment-Pumpen CFD
Diese CFD-Pumpen werden im Nassreinigungsprozess in der Halbleiterherstellung eingesetzt. Chemikalien mit hohem Dampfdruck wie Ammoniak und Wasserstoffperoxid können ebenfalls gefördert werden.
Durch Verwendung von Fluorokunststoff werden hohe Reinheit und sehr gute chemische Beständigkeit erreicht. Die Einstellung der Hublänge sowie der Hubzahl ermöglicht die exakte Einstellung der Förderleistung. Partikelbildung wird durch die PFA Schlauchanschlüsse verhindert.
Spezifikationen (50 Hz)
| Max. Förderleistung: | 8 ml/Hub |
| Max. Förderdruck: | 0,5 bar |
| Max. Hubfrequenz: | 30 spm |
| Hauptmaterialien: | PTFE / PFA |
| Temperaturbereich: | 20 bis 60°C |
Pneumatisch betriebene Balgpumpen FW/-H
Kontaminationsfreie Konstruktion
Alle medienberührten Teile sind aus Fluorokunststoff gefertigt, mit hervorragender Beständigkeit gegen Hitze und aggressive Chemikalien. Scharfe korrosive Flüssigkeiten werden sicher gefördert bei verringerter Partikelemission.Antriebs-Sensor-System
Das Antriebs-Sensor-System öffnet/schließt das Magnet mittels Endlagensensor. Zuverlässiger Betrieb sowie stabiles Verhalten selbst bei geringer Hubanzahl sind gegeben.
Die Adoption von dicken Balgen ermöglicht Drücke bis 4,5 bar. Außerdem halten die Balgen 3 oder 4 mal länger als ein Membran. Pumpen der FW Serie werden in Reinigungs-, CPM- sowie chemischen Umwälzprozessen eingesetzt.
Die Anschlüsse für Saug- und Druckseite sind aus PFA gefertigt. Durch die integrierte Konstruktion wird die Ansammlung von Partikeln vermieden. Falls ein spezieller Controller angeschlossen wird, ist die Überwachung und Kontrolle der Fördermenge sehr einfach.
Spezifikationen (50 Hz)
| Max. Förderleistung: | 4.800 l/h |
| Max. Förderdruck: | 4,5 bar |
| Max. Hubfrequenz | 120 spm |
| Hauptmaterialien: | PTFE / PFA |
| Temperaturbereich: | 10 bis 180°C |
Pneumatisch betriebene Balgpumpen FS
Hochgeschwindigkeitshübe
Die Hubanzahl ist je nach Typ unterschiedlich. Als Folge der Reduzierung von Größe, Gewicht und Kosten konnte die Hubanzahl auf 240 spm sowie die Verringerung der Pulsation erhöht werden.Kontaminationsfreie Konstruktion
Alle medienberührten Teile sind aus Fluorokunststoff gefertigt. Die Pumpe wurde so konstruiert, dass keine ungeschützten Metallteile gibt. Auch das Äußere ist mit Fluorokunststoff überdeckt. Der Einsatz einer Kolbendichtung (Patent angemeldet) hat den Effekt einer beachtlichen Verringerung der Partikelemission.
Großer Temperaturbereich/Hochdruckförderung
Medien mit einem Temperaturbereich von 5 bis 180°C bei einem Druck bis zu 5 bar können gefördert werden. Die Pumpe kann für Reinigungs-, CMP- oder chemische Umwälzprozesse eingesetzt werden.
Einfache Wartung
Der Endlagensensor ist ohne die Demontage der Pumpe zu ersetzen und ein regelmäßiges Nachziehen der Halteschrauben entfällt ebenfalls, so dass die Ausfallzeiten reduziert werden.
Antriebs-Sensor-System
Das Antriebs-Sensor-System öffnet/schließt das Magnet mittels Endlagensensor. Daher kann der Ausstoß einfach kontrolliert oder geregelt werden, falls verschiedene Controller angeschlossen sind.
Spezifikationen (50 Hz)
| Max. Förderleistung: | 6.000 l/h |
| Max. Förderdruck: | 5 bar |
| Max. Hubfrequenz: | 240 spm |
| Hauptmaterialien: | PTFE / PFA |
| Temperaturbereich: | 5 bis 180°C |
Pumpen wie für Sie gemacht, individuell nach ihren Bedürfnissen.
Unsere Mitarbeiter beraten sie gerne und lassen ihnen ein Angebot zu kommen.